SU 746219 A1, 05.07.1980. RU 2028588 C1, 09.02.1995. RU 2028584 C1, 09.02.1995. RU 2092801 C1, 10.10.1997. EP 0348658 A2, 03.01.1990.
Имя заявителя:
Белозубов Евгений Михайлович (RU), Васильев Валерий Анатольевич (RU), Чернов Павел Сергеевич (RU)
Изобретатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU) Чернов Павел Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU) Чернов Павел Сергеевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред. Техническим результатом изобретения является повышение точности, повышение надежности и повышение технологичности датчика давления. Датчик давления с тонкопленочной тензорезисторной нано- и микроэлектромеханической системой содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из мембраны с жестким центром, заделанную по контуру в опорном основании, образованную на мембране гетерогенную структуру из тонких пленок материалов, в которой сформированы контактные площадки, первые радиальные тензорезисторы и вторые радиальные тензорезисторы, соединенные тонкопленочными перемычками, включенные в измерительный мост. Концы первых радиальных тензорезисторов размещены между жестким центром и окружностью, радиус которой r определен по соответствующему соотношению. Концы вторых радиальных тензорезисторов размещены между опорным основанием и окружностью, радиус которой r также определен по соответствующему соотношению. 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента