FR 2687778 А1, 27.08.1993. WO 9853483 A1, 26.11.1998. EP 1203748 A1, 08.05.2002.
Имя заявителя:
ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
Изобретатели:
ГАЙГЕР Вольфрам (DE) БРЕНГ Уве (DE)
Патентообладатели:
ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
05.04.2005 DE 102005015584.7
Реферат
Изобретение относится к микромеханическому, микроэлектромеханическому компоненту. Технический результат направлен на изготовления компонента, не требующего сложной производственной технологии, позволяющего надежно заключить в герметическую оболочку соответствующие активные структуры и вывести из компонента электрические контакты. Способ изготовления микромеханического, микроэлектромеханического или микрооптоэлектромеханического компонента, согласно которому: изготавливают первый слоистый композитный материал, имеющий первую подложку (2) и первый изолирующий слой (3), который покрывает по меньшей мере одну часть поверхности (1) первой подложки (2). Изготавливают второй слоистый композитный материал, содержащий вторую подложку (12) и второй изолирующий слой (14), который покрывает по меньшей мере одну часть поверхности (13) второй подложки (12). Наносят по меньшей мере частично проводящий структурный слой (7) на первый изолирующий слой (3). Наносят второй композитный материал на структурный слой (7), так что второй изолирующий слой (14) примыкает к структурному слою (7). Причем первый и второй слоистые композитные материалы, а также структурный слой (7) сконфигурированы таким образом, что по меньшей мере одна часть структурного слоя (7), которая содержит активную область (8) компонента, герметически изолирована первым и вторым слоистыми композитными материалами, а затем формируют в первой и/или второй подложке (2, 12) контактные отверстия (4) для обеспечения контакта с проводящими зонами (9) структурного слоя (7). 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 10 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента