US 7745014 B1, 29.06.2006. RU 2401245 C2, 10.10.2010. RU 2108148 C2, 10.04.1998. RU 23726844 C1, 10.11.2009. WO 2007066370 A1, 14.06.2007. US 7122100 A, 17.10.2006.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Тимошенков Сергей Петрович (RU) Гаев Дахир Сайдуллахович (RU) Бойко Антон Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой поверхностью, соединенный с несущей подложкой, обеспечивающей механическую прочность газопоглотителя и возможность его монтажа в различные устройства. Технический результат - повышение эффективности поверхности и сорбционной емкости. 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента