US 2005/218509 A1, 06.10.2005. DE 10054964 A1, 13.09.2001. WO 00/39853 A1, 06.07.2000. WO 2005/000733 A2, 06.01.2005. RU 2005129923 A1, 10.04.2007.
Имя заявителя:
ТАЛЬ (FR)
Изобретатели:
ПАРБО Серж (FR) КЕР Режи (FR) ФУРРЬЕ Ален (FR)
Патентообладатели:
ТАЛЬ (FR)
Приоритетные данные:
12.12.2006 FR 0610817
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано, например, в микрогирометрах, микроакселерометрах, микродатчиках давления. Изобретение направлено на повышение надежности, что обеспечивается за счет использования в защитном корпусе электромеханической микросистемы промежуточного транслятора проводки. Причем, защитный корпус образован стенкой, изготовленной из электроизоляционного материала и формирующей закрытую камеру. Упомянутая стенка имеет внутреннюю поверхность, ориентированную внутрь камеры, и наружную поверхность, находящуюся в контакте с внешней средой. Внутренние электрические контакты, располагающиеся на внутренних поверхностях, и наружные электрические контакты, располагающиеся на наружных поверхностях, попарно электрически связаны между собой. Первая поверхность плоской электромеханической микросистемы закреплена на внутренней стенке корпуса, а вторая содержит электрические контакты этой микросистемы. Первый конец проволочного соединения, изготовленного из электропроводного материала, закрепляется на электрическом контакте микросистемы. Промежуточный транслятор изготавливается из электроизоляционного материала, закрепляется, по меньшей мере, на одной внутренней стенке и содержит дорожки, изготовленные из электропроводного материала, причем одна такая электропроводная дорожка электрически связана, по меньшей мере, с одним внутренним электрическим контактом и с одним вторым концом проволочного соединения. 9 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента