Белозубов Евгений Михайлович (RU), Белозубова Нина Евгеньевна (RU), Васильев Валерий Анатольевич (RU)
Изобретатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Белозубова Нина Евгеньевна (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU)
Патентообладатели:
Белозубов Евгений Михайлович (RU) Белозубова Нина Евгеньевна (RU) Васильев Валерий Анатольевич (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления. В предлагаемом способе стабилизации нано- и микроэлектромеханической системы тонкопленочного тензорезисторного датчика давления разогрев тензорезисторов импульсным электрическим током проводят после герметизации внутренней полости чувствительного элемента датчика при одновременном воздействии на его приемную полость максимально допустимого измеряемого давления и минимально допустимой пониженной температуры при эксплуатации, а также максимально допустимого измеряемого давления и максимально допустимой повышенной температуры при эксплуатации. Термостабилизацию проводят при температуре, превышающей в 1,05 раза максимально допустимую повышенную температуру при эксплуатации. Измерения начальных выходных сигналов при термостабилизации проводят при повышенном напряжении питания. Контроль скорости изменения начального выходного сигнала осуществляют по соотношениям скорости изменения приведенных значений начальных выходных сигналов при последнем и предпоследнем измерении начального выходного сигнала при термостабилизации, соответственно. Технический результат - повышение стабильности начального и номинального выходного сигнала тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления и выявление скрытых дефектов тензорезисторов на ранних стадиях изготовления.
Поиск патентов
Получить полное описание патента