|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ НАНОКЛАСТЕРНОГО ПОКРЫТИЯ |  |
Номер публикации патента: 2362838 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 B81C003/00 | | Аналоги изобретения: | JP 2003096555 A, 03.04.2003. RU 9402531 C1, 27.04.1996. RU 2107971 C1, 27.03.1998. RU 2242821 C1, 20.12.2004. RU 2065889 C1, 27.08.1996. US 3956093 A, 11.05.1976. JP 2006043740 A, 16.02.2006. US 2005173240 A, 11.08.2005. CN 1459515 A, 03.12.2003. UA 76257 A, 16.01.2006. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) (СПбГЭТУ) (RU) | | Изобретатели: | Барченко Владимир Тимофеевич (RU)
Быков Юрий Олегович (RU)
Гребнев Олег Игоревич (RU)
Ефременко Алексей Михайлович (RU)
Лучинин Виктор Викторович (RU)
Тестов Олег Анатольевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) (СПбГЭТУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого изделия. Магнетрон оборудован дополнительным охлаждаемым катодом-мишенью (5), плоскость распыления которого перпендикулярна боковой поверхности трубчатого катода-мишени (1).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента