US 2004/0051929 A1, 18.03.2004. US 2004207497 A1, 21.10.2004. EP 1486999 A2, 15.12.2004. RU 2180158 C2, 27.02.2002. EP 1443017 A2, 04.08.2004.
Имя заявителя:
КВАЛКОММ ИНКОРПОРЭЙТЭД (US)
Изобретатели:
ЧУЙ Кларенс (US) ЧАНГ Вонсак (US) ГАНТИ Сурья Пракаш (US) КОТХАРИ Маниш (US) МАЙЛЗ Марк В. (US) СЭМПСЕЛ Джефри Б. (US) САСАГАВА Теруо (US)
Патентообладатели:
КВАЛКОММ ИНКОРПОРЭЙТЭД (US)
Приоритетные данные:
22.07.2005 US 60/701,655 19.08.2005 US 60/710,019
Реферат
Устройства МЭМС изготавливают следующим образом. Берут подложку. Наносят на нее электродный слой. Наносят поверх электродного слоя временный слой. Формируют во временном слое рельеф с образованием отверстий. Наносят поверх временного слоя подвижный слой. Формируют поддерживающие структуры, расположенные над подвижным слоем и по меньшей мере частично в отверстиях в временном слое. Между по меньшей мере двумя поддерживающими структурами проходит участок подвижного слоя. Травят временный слой для его удаления, благодаря чему между подвижным слоем и электродным слоем образуется полость. Участок подвижного слоя выполнен с возможностью деформации и прижима к нижележащим слоям в ответ на образование электростатического потенциала между подвижным слоем и электродным слоем. 8 н. и 120 з.п. ф-лы, 101 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента