

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ТЕПЛОВОЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКТЮАТОР И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2448896

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2010111378/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	B81B003/00 B81C001/00 B81B007/00
Аналоги изобретения:	T.EBEFORS POLYIMIDE V-GROOVE JOINTS THREE-DIMENSIONAL SILICON TRANSDUCER. INSTRUMENTATION LABORATORY OF SIGNALS, SENSORS AND SYSTEMS /ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, STOCKHOLM, 2000, 144 P/. JP 2000246676 A, 12.09.2000. JP 2002307393 A, 23.10.2002. JP 2000309000 A, 07.11.2000. W.M.HUANG, Q.Y.LIU, L.M.HE, J.H.YEO. MICRO NiTi-Si CANTILEVER WIHT THREESTABLE POSTIONS. SENSORS AND ACTUATORS A 114, 118 (2004). RU 2193804 C1, 27.11.2002.

Имя заявителя:	Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") (RU)
Изобретатели:	Жуков Андрей Александрович (RU) Смирнов Игорь Петрович (RU) Корпухин Андрей Сергеевич (RU) Козлов Дмитрий Владимирович (RU) Бабаевский Петр Гордеевич (RU)
Патентообладатели:	Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") (RU)

Реферат

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании и изготовлении микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы, обеспечивающие преобразование «электрический сигнал - перемещение» и/или «изменение температуры - перемещение» для микроробототехнических систем. Изобретение направлено на расширение диапазона температур, повышение технологичности и надежности, что обеспечивается за счет того, что тепловой микромеханический актюатор включает кремниевую монокристаллическую пластину с ориентацией [100] с меза-структурой, состоящей из параллельных трапециевидных вставок, соединенных полиимидными прослойками, образованными полиимидной пленкой, нагревателя и металлизации нагревателя. При этом, согласно изобретению, полиимидная пленка выполнена из слоя полипиромеллитимида, прилегающего к параллельным трапециевидным вставкам, армированного углеродными нанотрубками с функциональными карбоксильными группами и концентрацией не более 11×10^-3 г/см³, и неармированного внешнего слоя полипиромеллитимида. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 табл., 8 ил.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"