US 5986796 А, 16.11.1997. US 6466354 В1, 15.10.2002. US 2002054424 А1, 09.05.2002. US 2004027636 A1, 12.02.2004.
Имя заявителя:
КВЭЛКОММ МЕМС ТЕКНОЛОДЖИЗ, ИНК. (US)
Изобретатели:
ЧУЙ Клэренс (US)
Патентообладатели:
КВЭЛКОММ МЕМС ТЕКНОЛОДЖИЗ, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
27.09.2004 US 60/613,566 19.08.2005 US 11/208,420
Реферат
Оптическое устройство содержит подложку, содержащую металл, пассивирующий слой, проводящий слой, диэлектрический слой, первый оптический слой, подвижный второй оптический слой. Пассивирующий слой расположен на подложке и обеспечивает электрическую изоляцию для предохранения других структур, расположенных на подложке, от закорачивания на подложку. Проводящий слой расположен на пассивирующем слое. Диэлектрический слой расположен на проводящем слое. Первый оптический слой является по меньшей мере частично пропускающим и по меньшей мере частично отражающим для падающего света. Подвижный второй оптический слой является по меньшей мере частично отражающим для падающего света, отнесен от первого оптического слоя и расположен между первым оптическим слоем и диэлектрическим слоем. Первая полость задана между вторым оптическим слоем и диэлектрическим слоем. Вторая полость задана между вторым оптическим слоем и первым оптическим слоем. Второй оптический слой перемещается между первым и вторым положениями, модулируя отражательную способность устройства, в ответ на напряжения, прикладываемые между проводящим слоем и вторым оптическим слоем. Технический результат - избирательное поглощение и/или отражение света благодаря использованию оптической интерференции. 5 н. и 26 з.п. ф-лы, 65 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента