СОБОРОВЕР Э.И. и др. Бифункциональный акустооптический сенсор для мультисенсорной измерительной системы. Труды девятой международной научно-технической конференции: Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники. - Дивноморское, Россия, 12-17 сентября 2004, ч.2. HIERLEMANN А. ЕТ AL. Effective use of molecular recognition in gassensing: results from acoustic wave and in situ FT-IR measurements. Analitical Chemistry, 1999, v.71, 15, p.3022-3035. RU 2006114805 A, 10.11.2007. JP 2007085905 A, 05.04.2007. US 6955787 В1, 18.10.2005. US 2002043890 A1, 18.04.2002.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Эйс" (RU)
Изобретатели:
Соборовер Эдуард Иосифович (RU) Кряжев Сергей Александрович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Эйс" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к, микроэлектронным датчикам - химическим и биосенсорам, предназначенным для одновременных акустических на поверхностно-акустических волнах (ПАВ) и оптических исследований физико-химических и (или) медико-биологических свойств тонких порядка 0.1 мкм (100 нм) и менее нанопленок. В сенсоре используются свет видимого диапазона, для которого характерны коэффициенты поглощения на 2-4 порядка величины больше, чем в ИК-диапазоне, волноводный режим измерения, в котором монокристалл пьезоэлектрика используется в качестве плоского волновода для света видимого диапазона, причем возможны два режима оптических волноводных измерений: МНПВО или многократный отражательно-поглощательный, а также нагреватель в виде нескольких ЧИП-резисторов, соединенных в последовательную цепь, и термодатчик - платиновый термометр сопротивления, что обеспечивает повышение чувствительности и упрощение конструкции. 4 ил., 1 табл.