|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТЕСТОВАЯ СТРУКТУРА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ ОСТРИЯ ИГЛЫ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2308414 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B81B007/04 G01B015/00 G12B021/00 | | Аналоги изобретения: | US 6591658 B1, 15.07.2003. RU 2121130 C1, 27.10.1998. US 2003/0132376 A1, 17.07.2003. JP 2002-039921 A, 06.02.2002. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) | | Изобретатели: | Бобринецкий Иван Иванович (RU)
Неволин Владимир Кириллович (RU)
Строганов Антон Александрович (RU)
Чаплыгин Юрий Александрович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области нанометрологии и калибровочным структурам, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение и измерение геометрической формы игл сканирующего зондового микроскопа, в том числе атомно-силовых микроскопов и сканирующих туннельных микроскопов. Изобретение представляет собой тестовую структуру, состоящую из основания и расположенных на нем нанотрубок правильной геометрической формы диаметром от 1 до 10 нм, ось которых параллельна плоскости основания.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента