Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU)
Изобретатели:
Иевлев Валентин Михайлович (RU) Белоногов Евгений Константинович (RU) Максименко Александр Александрович (RU) Рошан Наталья Робертовна (RU) Бурханов Геннадий Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам изготовления селективных мембран, функционирующих за счет избирательной диффузии водорода сквозь тонкую пленку палладия или его сплава. Способ включает конденсацию в вакууме на очищенную технологическую подложку тонкой пленки палладия или его сплава. После чего проводят отделение пленки от подложки путем полного или частичного растворения подложки в растворах флотационного типа для данной отделяемой пленки и перенос пленки из водного раствора на пористый держатель мембраны с последующим закреплением пленки. При этом конденсацию пленки ведут при температуре подложки, обеспечивающей эпитаксиальный рост пленки, а в качестве материала подложки выбирают материал, обеспечивающий формирование эпитаксиальной одноориентационной пленки. Технический результат - улучшение селективной газопроницаемости мембран. 2 з.п. ф-лы.