Микроэлектромеханические системы (MEMS) обычно включают в себя, по меньшей мере, один подвижный элемент в замкнутом корпусе, например пространственные модуляторы света. Технический результат направлен на повышение точности и повышение производительности. Устройство MEMS, содержит первую поверхность; вторую поверхность, смещенную относительно первой поверхности, чтобы сформировать корпус. По меньшей мере, один подвижный элемент внутри корпуса, имеющий подвижную поверхность, чтобы контактировать с другой поверхностью. Материал управления средой внутри корпуса, предназначенный для того, чтобы воздействовать на работу подвижного элемента. При этом упомянутый корпус заключен внутри второго корпуса. Способ монтажа в приборном корпусе реализуется по вышеуказанному устройству. 2 н. и 28 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента