|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЭМИССИОННЫЙ ДАТЧИК МЕХАНИЧЕСКИХ И ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН |  |
Номер публикации патента: 2291449 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01P015/08 G01D005/14 B81B003/00 | | Аналоги изобретения: | В.И. Шашкин и др. О возможных конструкциях датчиков туннельно-эмиссионных акселерометров. Микросистемная техника, 2003, №5, с.3-6. RU 2162229 С2, 20.01.2001. RU 2161298 С2, 27.12.2000. US 5729074 A, 17.03.1998. US 6132278 A, 17.10.2000. JP 9133559 A, 20.05.1997. WO 0177694 A1, 18.10.2001. |
| Имя заявителя: | Институт физики микроструктур РАН (RU) | | Изобретатели: | Шашкин Владимир Иванович (RU)
Востоков Николай Владимирович (RU)
Вопилкин Евгений Александрович (RU)
Климов Александр Юрьевич (RU)
Рогов Владимир Всеволодович (RU)
Лазарев Сергей Григорьевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики микроструктур РАН (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микроструктурным устройствам, содержащим гибкие элементы, в частности подвижные относительно друг друга электроды, что позволяет использовать их как датчики механических и термодинамических величин, таких как ускорение, температура и давление. Эмиссионный датчик содержит два электрода, расположенных в вакууме напротив друг друга на расстоянии d, по крайней мере один из которых является подвижным и изготовлен в виде участка металлизации на упругой пластине, установленной на
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента