US 6589625 B1, 08.07.2003. FR 2841380 A, 26.12.2003. US 6621134 B1, 16.09.2003.
Имя заявителя:
АйДиСи, ЭлЭлСи (US)
Изобретатели:
ПАЛМАТИР Лорен (US) КАММИНГЗ Уилльям Дж. (US) ГАЛЛИ Брайан Дж. (US) ЧУЙ Клэренс (US) КОТХАРИ Маниш (US)
Патентообладатели:
АйДиСи, ЭлЭлСи (US)
Приоритетные данные:
27.09.2004 US 60/613,476
Реферат
Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам (МЭМС). Технический результат направлен на усовершенствование и создание новых изделий. Система для монтажа в корпус устройств на основе MEMS содержит подложку, устройство на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), сформированное на подложке, объединительную плату, уплотнение, расположенное вблизи периметра устройства на основе МЭМС и контактирующее с подложкой и объединительной платой. Причем указанное уплотнение содержит клей, химически активный газопоглотитель, находящийся в контакте с уплотнением по внутренней периферии уплотнения. Способ и устройство реализуются вышеуказанной системой. 4 н. и 37 з.п. ф-лы, 10 ил.