WO 0170400 A1, 27.09.2001. WO 9965664 A1, 23.12.1999. EP 1250954 A2, 23.10.2002. US 2003160538 A1, 28.08.2003. RU 2200338 С1, 10.03.2003.
Имя заявителя:
КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС ЭЛЕКТРОНИКС Н.В. (NL)
Изобретатели:
ДЕККЕР Роналд (NL) ПЕЙНЕНБУРГ Ремко Х. В. (NL) ВАН ВЕН Николас Й. А. (NL)
Патентообладатели:
КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС ЭЛЕКТРОНИКС Н.В. (NL)
Приоритетные данные:
20.03.2006 EP 06111392.4
Реферат
Изобретение относится к интегрированному электронно-микрофлюидному устройству. Сущность изобретения: интегрированное электронно-микрофлюидное устройство содержит полупроводниковую подложку (106) на первой основе (122), электронную схему (102, 104) на первой стороне полупроводниковой подложки и структуру сопряжения сигналов с внешним устройством. Структура сопряжения сигналов расположена на первой стороне полупроводниковой подложки и выполнена с возможностью принимать электрические сигналы от электронной схемы. Микрофлюидная структура (126) сформирована в полупроводниковой подложке и выполнена с возможностью ограничивать текучую среду и позволять течение текучей среды в микрофлюидную структуру и из нее только на второй стороне полупроводниковой подложки, которая противоположна первой стороне полупроводниковой подложки и обращена от первой основы. Электронно-микрофлюидное устройство образует приспосабливаемую платформу для создания различных применений «системы в корпусе». Достигается четкое разделение между электрическими и жидкостно-химическими интерфейсами. Заявленный способ изготовления устройства по изобретению также предоставляет возможность простого формирования теплоизолированных микрофлюидных структур. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 7 ил.