На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОНАСОС | |
Номер публикации патента: 2210529 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | B81B001/00 | Аналоги изобретения: | РИХТЕР А. Кремниевый микронасос - новое достижение микрообработки. Электроника, №8(837), 1990, с.7 и 8. US 5759014 А, 02.06.1998. US 5529465 А, 25.06.1996. US 5375979 А, 27.12.1994. СН 683793 А5, 13.05.1994. DE 19637928 А1, 14.08.1997. ЕР 0465229 А1, 08.01.1992. RU 2030634 С1, 10.03.1995. |
Имя заявителя: | Таганрогский государственный радиотехнический университет | Изобретатели: | Механцев Е.Б. Фомичев А.В. Лещенко А.В. | Патентообладатели: | Таганрогский государственный радиотехнический университет |
Реферат | |
Использование: в интегральной электронике и микросистемной технике, при производстве микрокапиллярных устройств, использующих электрогидродинамический эффект. Сущность изобретения: в интегральный микронасос, содержащий электрод, представляющий собой полупроводниковую пластину сетчатой структуры с V-образными отверстиями по всей ее толщине, и изолирующий слой, введены металлический слой, являющийся вторым электродом, а изолирующим слоем является диэлектрическая пленка, разделяющая электроды, толщи
|