|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКА НА ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2180885 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B44D005/00 B41M001/28 | | Аналоги изобретения: | K.L.SCOTT, T.-J.KING, M.A.LIEBERMAN, K.-N.LEUNG "Pattern generators and microcolumns for ion beam lithography" - Journal of Vacuum Science and Technology B, v.l8(6), 2000, pp.3172-3176. GB 1377671 A, 18.12.1974. US 3767459 А, 23.10.1973. FR 2196611 А, 15.03.1974. DE 2509865 А1.29.04.1976. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Агентство маркетинга научных разработок" | | Изобретатели: | Смирнов В.К.
Кибалов Д.С. | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Агентство маркетинга научных разработок" |
Реферат | |
Установка для формирования рисунка на поверхности пластин для расширения функциональных возможностей содержит формирователь матрицы ионных пучков, выполненный с возможностью формирования ленточных ионных пучков, наклонно падающих на поверхность пластины в свободном от электростатических полей пространстве.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента