US 6107209 A, 22.08.2000. US 6805432 B1, 19.10.2004. US 2004259372 A1, 23.12.2004. US 6143190 A, 07.11.2000.
Имя заявителя:
КЭНОН КАБУСИКИ КАЙСЯ (JP)
Изобретатели:
ТИДА Мицуру (JP) САКАИ Тосиясу (JP) ОЗАКИ Нориясу (JP) АБО Хироюки (JP) АБЕ Казуя (JP) ОНО Кендзи (JP)
Патентообладатели:
КЭНОН КАБУСИКИ КАЙСЯ (JP)
Приоритетные данные:
06.09.2007 JP 2007-231356
Реферат
Изобретение относится к головке для выброса жидкости и способу изготовления подложки головки для выброса жидкости. Способ изготовления подложки для головки для выброса жидкости представляет собой обеспечение кремниевой подложки, содержащей на ее поверхности слой маски для травления, который имеет отверстие, формирование первого углубления в поверхности кремниевой подложки путем анизотропного травления, формирование второго углубления, содержащего отверстие в части поверхности первого углубления, таким образом, что отверстие проходит в направлении другой поверхности кремниевой подложки, которая является поверхностью, обратной поверхности кремниевой подложки, и формирование впускного канала путем анизотропного травления кремниевой подложки от поверхности, имеющей второе углубление. Головка для выброса жидкости содержит кремниевую подложку, имеющую элемент генерирования энергии на ее поверхности, который сконфигурирован с возможностью генерировать энергию для выброса жидкости, и впускной канал для подачи жидкости к элементу генерирования энергии. Изобретение позволяет стабильно изготавливать подложки головок для выброса жидкости с точностью формы и высокой эффективностью технологического процесса. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 17 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента