RU 2341587 C2, 20.12.2008. RU 2352683 C2, 20.04.2009. RU 2132406 C1, 27.06.1999. US 2009220802 A1, 03.09.2009. JP 08-081238 A, 26.03.1996. US 5827409 A, 27.10.1998.
Имя заявителя:
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) (RU)
Изобретатели:
Березин Николай Михайлович (RU) Богатов Валерий Афанасьевич (RU) Захаров Сергей Сергеевич (RU) Кисляков Павел Павлович (RU) Хохлов Юрий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области градиентных функциональных тонкопленочных покрытий, прозрачных в видимой области спектра, получаемых методами вакуумного магнетронного распыления и выполняющих специальные функции, например ослабление теплового или радиочастотного излучения. Градиентное функциональное покрытие на прозрачной подложке содержит первый слой прозрачного диэлектрика из смеси оксида и нитрида алюминия толщиной 5-40 нм, слой меди толщиной 9-14 нм и внешний слой прозрачного диэлектрика из смеси оксида и нитрида алюминия толщиной 30-45 нм с уменьшающимся по направлению от слоя металла показателем преломления, полученным за счет увеличения в указанном направлении процентного содержания оксида алюминия. Прозрачные слои диэлектрика представляют собой продукты химической реакции, образованные при вакуумном распылении мишени, содержащей алюминий, в химически активном газе, содержащем кислород и азот. Внешний слой прозрачного диэлектрика выполнен при изменении парциального давления кислорода от 0,006 до 0,020 Па. Получается покрытие, обладающее более высоким коэффициентом ослабления теплового излучения и уменьшенным искажением цветопередачи относительно подложки при сохранении высокого уровня интегрального коэффициента пропускания видимого света и поверхностного сопротивления покрытия. 1 з.п.ф-лы, 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента