|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ, А ТАКЖЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИРОВКИ И СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОРИЕНТАЦИИ КРИСТАЛЛА |  |
Номер публикации патента: 2251598 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B033/00 B28D005/02 H01L021/304 C30B029/42 | | Аналоги изобретения: | JP 9017755 A, 17.01.1997. JP 11074234 А, 16.03.1999. GB 628508 А, 30.08.1949. US 5904136 А, 18.05.1999. US 5878737 A, 09.03.1999. US 5839424 A, 24.11.1998. US 5720271 A, 24.02.1998. |
| Имя заявителя: | ФРАЙБЕРГЕР КОМПАУНД МАТИРИАЛЗ ГМБХ (DE) | | Изобретатели: | ХАММЕР Ральф (DE)
КЛЯЙНВЕХТЕР Андре (DE)
ФЛАДЕ Тило (DE)
КУМАНН Корнелиа (DE)
ГРУШИНСКИ Ральф (DE) | | Патентообладатели: | ФРАЙБЕРГЕР КОМПАУНД МАТИРИАЛЗ ГМБХ (DE) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в полупроводниковой промышленности. Сущность изобретения: способ разделения монокристалла, в частности GaAs, заключается в том, что монокристалл (1) разрезается, по меньшей мере, на две части и режущий инструмент (2, 3; 8, 8а, 8b, 8с) перемещают относительно друг друга в направлении продвижения (V), при этом монокристалл (1) ориентируют таким образом, что заданная кристаллографическая ориентация (К) лежит в плоскости (Т) резки, а угол (р) между заданным кристал
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента