На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ РЕЗКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ И ДРУГИХ ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ | |
Номер публикации патента: 2167055 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | B28D005/04 | Аналоги изобретения: | МОСТЯЕВ В.А. и др., Технология пьезо- и акустоэлектронных устройств. М.: Ягуар, 1993, с.80-82. SU 335110 А, 10.05.1972. RU 2059463 C1, 10.05.1996. US 4387698 A, 14.06.1983. DE 3305695 A1, 23.08.1984. |
Имя заявителя: | Всероссийский научно-исследовательский институт синтеза минерального сырья | Изобретатели: | Дороговин Б.А. Мазулев В.В. Филиппов И.М. | Патентообладатели: | Всероссийский научно-исследовательский институт синтеза минерального сырья |
Реферат | |
Изобретение относится к области механической обработки твердых хрупких материалов, а именно к способам механической резки монокристаллов на пластины. Технический результат - повышение точности ориентации отрезаемых пластин относительно кристаллографических осей, улучшение плоскостности с целью получения высококачественных полуфабрикатов подложек для акустоэлектроники, оптики и полупроводниковой техники. Монокристалл закрепляют на подложке, подают на стальные ленты, установленные на раме станка и совершающие возвратно-поступательные движения, в зону резки подают абразивную суспензию, с обеих сторон от разрезаемого монокристалла по направлению движения резательных полотен устанавливают бруски, ось которых перпендикулярна направлению движения резательных полотен, а высота их на 0,5 - 5,0 мм больше высоты разрезаемого монокристалла. Причем бруски используют прямоугольного профиля или трапецеидального профиля, где одна боковая сторона, обращенная к разрезаемому монокристаллу, перпендикулярна основаниям, а другая отклонена от первой на угол 5-10o, бруски укрепляют на подложке меньшим основанием. 2 з. п. ф-лы, 2 ил.
|