На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | |
Номер публикации патента: 95109471 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 95109471 |
|
|
|
Имя заявителя: | Ульяновский государственный технический университет | Изобретатели: | Худобин Л.В. Крупенников О.Г |
Реферат | |
Изобретение можно использовать на операциях резки слитков из полупроводниковых материалов на пластины кругами АКВР с целью повышения качества отрезаемых пластин за счет демпфирования колебаний режущей кромки отрезного круга и усиления смазочного действия СОЖ. Предлагается перед отрезанием каждой пластины подавать на режущую кромку круга АКВР масляную магнитную жидкость с одновременным наложением на нее магнитного поля.
|