На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

РОБОТОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

Номер публикации патента: 1552514

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  4370789		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к робототехнике и может быть использовано, например, в автоматизированном вакуумном оборудовании по производству изделий микроэлектроники. Целью изобретения является повышение надежности работы и точности позиционирования манипулятора. Это достигается выполнением механизма контроля положения манипулятора, который установлен в вакуумной камере в виде световой оптической системы, имеющей источник излучения, установленный снаружи камеры, две светоотклоняющие призмы, расположенные на манипуляторе, приемники излучения, установленные снаружи камеры в соответствующих местах, а в стенке камеры напротив приемников и источника размещены герметичные прозрачные окна для прохождения светового потока от источника до приемников излучения. При программных перемещениях манипулятора происходит засветка соответствующих приемников излучения, по сигналам которых, поступающим в систему управления, производится контроль положения манипулятора. 2 ил.

Вернуться к списку