|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЛИРОВАЛЬНИК |  |
Номер публикации патента: 2036071 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B24D017/00 | | Аналоги изобретения: | Бочкин О.И. и др. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1977., с.46-47. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт "Пульсар" | | Изобретатели: | Рогов В.В.
Савушкин Ю.А.
Баранова Т.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт "Пульсар" |
Реферат | |
Использование: в области алмазного и химико-механического полирования полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: в полировальнике, состоящем из доводочного диска с приводом вращения и закрепленного на его базовой поверхности полировального материала с фильтрующими свойствами, на базовой поверхности доводочного диска выполнены радиальные пазы, в которых с внешней стороны доводочного диска установлены съемные планки, снабженные средством фиксации планки в пазу и средством для герметизации вне
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента