|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ |  |
Номер публикации патента: 2320466 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B24B001/00 B24B037/04 | | Аналоги изобретения: | WO 03043780 A3, 30.05.2003. RU 2166423 C2, 10.05.2001. SU 1792555 A3, 15.10.1994. SU 1517244 C, 09.02.1995. |
| Имя заявителя: | ООО "НИТРИДНЫЕ КРИСТАЛЛЫ" (RU) | | Изобретатели: | Авдеев Олег Валерьевич (RU)
Макаров Юрий Николаевич (RU)
Нагалюк Сергей Степанович (RU)
Савченко Юрий Иванович (RU)
Фомичева Алина Иосифовна (RU)
Чемекова Татьяна Юрьевна (RU) | | Патентообладатели: | ООО "НИТРИДНЫЕ КРИСТАЛЛЫ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов. Способ включает ориентацию поверхности подложки и химико-механическое полирование с применением абразивной суспензии и полирующей плиты. Ориентированную подложку закрепляют на пластине из тугоплавкого металла.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента