|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ХИМИКО - МЕХАНИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2305621 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B24B001/04 B24B037/04 H01L021/304 | | Аналоги изобретения: | US 6168502 В1, 02.01.2001. SU 1727178 А1, 15.04.1992. SU 703315 А, 15.12.1979. Интенсификация обработки резанием термомеханическими способами и активацией технологических средств, Обзор, М., НИИМАШ, 1982, с.11. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова" (АлтГТУ) (RU) | | Изобретатели: | Хмелев Владимир Николаевич (RU)
Шалунов Андрей Викторович (RU)
Барсуков Роман Владиславович (RU)
Цыганок Сергей Николаевич (RU)
Сливин Алексей Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова" (АлтГТУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление. Полупроводниковую пластину размещают на поверхности полирующего круга. На его поверхность подают жидкий полировальный состав с воздействием ультразвуковыми колебаниями.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента