|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2108225 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B24B027/06 | | Аналоги изобретения: | Запорожский В.П. и др. Обработка полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа, 1988, с.38-41. US, патент, 4852304, кл. B 24 B 7/00, 1989. |
| Имя заявителя: | Ульяновский государственный технический университет | | Изобретатели: | Худобин Л.В.
Крупенников О.Г.
Белов М.А.
Рабинович В.Е. | | Патентообладатели: | Ульяновский государственный технический университет |
Реферат | |
Способ резки можно использовать при изготовлении подложек из полупроводниковых материалов. Алмазный отрезной круг с внутренней режущей кромкой (АКВР) и чашечный шлифовальный круг устанавливают соосно друг другу и сообщают им вращение. Внутрь АКВР вводят слиток и подают шлифовальный круг на позицию шлифования. Перемещая слиток в радиальном направлении на режущую кромку АКВР, производят шлифование торца слитка с последующим отрезанием от него пластины. Зернистость шлифовального круга выбирают такой, чтобы толщина нарушенного слоя прошлифованной стороны пластины не превышала величину остаточной дефектности после резки. 2 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента