|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2191674 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B24B007/16 | | Аналоги изобретения: | ПИЧУГИН И.Г. и др. Технология полупроводниковых приборов. - М.: Высшая школа, 1984, с. 34. SU 1775279 А1, 15.11.1992. SU 1033297 А, 07.08.1983. SU 486897, 09.02.1976. FR 1600784, 04.09.1970. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение Воронежская государственная технологическая академия | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Битюков В.К.
Гребенкин О.М.
Попов Г.В. | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов. Устройство для шлифования состоит из корпуса, содержащего центральную - цилиндрическую, среднюю и периферийную - кольцевые пневматические камеры, разделенные цилиндрическими перегородками и сообщающиеся с магистралями подачи сжатого воздуха.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента