Федеральное государственное унитарное предприятие Омский научно-исследовательский институт приборостроения (RU)
Изобретатели:
Ярош Анатолий Михайлович (RU) Прохоренко Оксана Владимировна (RU) Власенко Алексей Валерьевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие Омский научно-исследовательский институт приборостроения (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу обработки кристаллических элементов из лангаситового силиката (ЛГС) и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности для изготовления высокочастотных резонаторов и широкополосных фильтров. Способ включает поэтапную шлифовку лангаситовых пластин корундами с зернистостью ЭБ8, М28, M14, химическое травление пластин в растворе HCl:HF:H2O=1:10:30 при температуре 70-90°С, механическую полировку со снятием приповерхностного слоя на глубину 5 мкм, химическое травление в растворе HCl:HF:H2O=1:50:150 и финишную механическую полировку пластин. Технический результат: повышение производительности обработки лангаситовых кристаллических элементов с высоким качеством поверхности. 4 ил.