US 4333989 А, 08.06.1982. ЕР 1577933 А, 21.09.2005. WO 2006119927 A, 16.11.2006. US 2003097800 A1, 29.05.2003. WO 2006031641 A, 23.03.2006. GB 1196471 A, 24.06.1970. SU 1127526 A3, 30.11.1984. SU 1743114 A3, 15.07.1994.
Имя заявителя:
СЭНТ-ГОБЭН КЕРАМИКС ЭНД ПЛАСТИКС, ИНК. (US)
Изобретатели:
ТАНИКЕЛЛА Брахманандам В. (US) СИМПСОН Мэтью А. (US) ЧИННАКАРУППАН Паланиаппан (US) РИЗЗУТО Роберт А. (US) ВЕДАНТАМ Рамануджам (US)
Патентообладатели:
СЭНТ-ГОБЭН КЕРАМИКС ЭНД ПЛАСТИКС, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
28.12.2006 US 60/882,348
Реферат
Изобретение относится к области обработки поверхностей сапфировых подложек шлифованием. Способ включает шлифование поверхности каждой сапфировой подложки с использованием абразива, так что первая поверхность имеет ориентацию в с-плоскости. Партия сапфировых подложек содержит по меньшей мере 20 подложек, причем каждая сапфировая подложка имеет первую поверхность, которая имеет (i) ориентацию в с-плоскости, (ii) угол (m) дезориентации кристаллографической m-плоскости и (iii) угол (а) дезориентации кристаллографической а-плоскости, причем по меньшей мере (а) стандартное отклонение m угла m дезориентации ориентировочно не превышает 0.0130 градусов или (b) стандартное отклонение а угла а дезориентации ориентировочно не превышает 0.0325 градусов. Технический результат - повышение качества сапфировых подложек, имеющих большие площади поверхности. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 5 ил., 6 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента