На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН | |
Номер публикации патента: 2308556 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B033/00 C30B029/06 H01L021/304 B24B009/00 | Аналоги изобретения: | RU 2186887 C2, 10.08.2002. SU 952539 А, 23.08.1982. JP 55-048934 A, 08.04.1980. JP 50-020314 В, 14.07.1975. |
Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" (RU) | Изобретатели: | Егоров Евгений Петрович (RU) Казимиров Николай Иванович (RU) Сорокин Сергей Леонидович (RU) Батюков Валерий Владимирович (RU) Князев Станислав Николаевич (RU) | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к обработке выращенных методом Чохральского монокристаллов кремния и может быть использовано при изготовлении монокристаллических кремниевых пластин - элементов солнечных батарей и интегральных схем. Способ изготовления монокристаллических кремниевых пластин предусматривает псевдоквадратирование монокристалла кремния с последующим шлифованием ребер псевдоквадратированного слитка, резку монокристаллов на пластины.
|