RU 2009764 C1, 30.03.1994. SU 1000157 A, 28.02.1983. SU 1516236 A, 23.10.1983. RU 2341568 C2, 20.07.2008. US 5329458 A, 12.07.1994.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)
Изобретатели:
Абульханов Станислав Рафаелевич (RU) Дмитриев Антон Юрьевич (RU) Казанский Николай Львович (RU) Сойфер Виктор Александрович (RU) Харитонов Сергей Иванович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт систем обработки изображений РАН (ИСОИ РАН) (RU)
Реферат
Устройство содержит три источника лазерного излучения и три соответствующих матричных устройства регистрации. Для повышения точности контроля оно снабжено тремя фазовыми элементами, каждый из которых выполнен в виде отражающей пластины с микрорельефом на его наружной отражающей поверхности, размещенной под углом к оптической оси лазерного излучения соответствующего источника, и имеющими возможность вращения и перемещения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. При этом матричные устройства регистрации выполнены с возможностью вращения и перемещения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, а высота микрорельефа на отражающей поверхности фазовых элементов определена по приведенной зависимости. 4 ил.