|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ПОДВИЖНОГО ЭЛЕМЕНТА ОТНОСИТЕЛЬНО БАЗОВОЙ СИСТЕМЫ КООРДИНАТ |  |
Номер публикации патента: 2182530 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B23Q001/26 G05B001/08 | | Аналоги изобретения: | АЧЕРКАН Н.С. Расчет и конструирование металлорежущих станков. - М.: Машгиз, 1952, с.181. RU 2139179 С1, 10.10.1999. RU 2028907 С1, 20.02.1995. DE 2932559 А1, 01.10.1981. DE 4204891 А1, 26.08.1993. ЕР 0209881 А, 28.01.1987. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "АНТЕХ" | | Изобретатели: | Раховский В.И. | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "АНТЕХ" |
Реферат | |
Изобретение относится к области машиностроения, а именно, к прецизионным позиционирующим средствам, и может быть использовано в прецизионных станках, высокоточных копирующих устройствах, а также в фотолитографических комплексах для электронной промышленности. Техническим результатом предложенного способа является обеспечение нанометрической точности позиционирования посредством повышения достоверности результатов измерения при контрольных замерах положения подвижного элемента. Способ включает формирование электропроводящего покрытия на выполненных из диэлектрического материала базовой поверхности направляющей и в зонах концевых участков базовой поверхности подвижного элемента и, после перемещения подвижного элемента в заданное положение, контроль величины зазора между базовой поверхностью направляющей и концевыми участками соответствующей базовой поверхности подвижного элемента посредством емкостных датчиков, причем контроль положения подвижного элемента относительно базовой системы координат осуществляют после сравнения и обеспечения равенства величин вышеуказанных зазоров. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента