На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ПРОЕКЦИОННОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ СВЕТОВЫМ ЛУЧОМ

Номер публикации патента: 94041495

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94041495

Реферат

Изобретение относится к способам обработки материалов световым лучом с проекционным формированием изображения и может использоваться в микроэлектронике, а именно в фотолитографии, и лазерной технологии, прежде всего лазерной маркировке. Цель: увеличение производительности процесса проекционной обработки. Сущность изобретения: шаблон, изображение которого переносится на обрабатываемый материал проекционной системой, выполняют в виде пространственно-временного модулятора света /ПВМС/ с отсутствующими постоянно прозрачными для света участками, при этом максимальную ширину постоянно непрозрачных для света участков ПВМС устанавливают в соответствии с условием b≅Ml_мин, b - ширина постоянно непрозрачных для света участков, M - уменьшение проекционной системы, l_мин - минимально разрешимый размер на обрабатываемом материале.

Вернуться к списку