Государственное учреждение "Институт физики Дагестанского научного центра Российской Академии Наук" (RU)
Реферат
Способ может быть использован при изготовлении узлов, содержащих расходуемую или сменную деталь и основание, изготовленные из материалов с разным коэффициентом термического расширения, например, для закрепления расходуемой керамической мишени на металлическом основании в установках магнетронного распыления. На поверхность основания припаивают высокотемпературным припоем слой, содержащий углеродные частицы в виде волокна или нанотрубок или графена. Деталь припаивают к другой стороне углеродного слоя припоем с температурой плавления ниже температуры плавления упомянутого припоя. Для удаления детали спай детали с упомянутым слоем нагревают до температуры выше температуры его плавления, но ниже температуры плавления твердого припоя. В качестве слоя, содержащего углеродные частицы, используют тканый или нетканый материал на основе углеродного волокна, либо флок из углеродных волокон или нанотрубок или графена. Содержащий углеродные микрочастицы слой обеспечивает тепловой и электрический контакты детали с основанием, а также уменьшают или исключают термомеханические напряжения между ними. Преимуществом способа является расширение возможностей работы с узлами, имеющими терморегулируемые компоненты, в частности, увеличение скорости распыления и увеличение коэффициента использования мишеней при магнетронном распылении. 12 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента