|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВЫБОРОЧНОЕ УДАЛЕНИЕ МАТЕРИАЛА ОБЛУЧЕНИЕМ |  |
Номер публикации патента: 2141879 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B08B007/00 B23K026/00 | | Аналоги изобретения: | US 5024968 A, 18.07.91. US 5319183 A, 07.06.94. US 4814578 A, 21.05.89. US 4678891 A, 07.06.87. US 4731516 A, 15.03.88. SU 1798090 A1, 28.02.93. |
| Имя заявителя: | Колдрон Лимитед Партнершип (US) | | Изобретатели: | Энгелсберг Одри С. (US)
Безелл Донна Ф. (Девичья фамилия: Фитцпатрик Донна Р.) (US) | | Патентообладатели: | Колдрон Лимитед Партнершип (US) | | Номер конвенционной заявки: | 08/306.431 | | Страна приоритета: | US |
Реферат | |
Способ удаления нежелательного материала с обрабатываемой поверхности подложки содержит операции: подачи вокруг нежелательного материала потока газа, практически инертного по отношению к упомянутому нежелательному материалу, и облучения упомянутого нежелательного материала излучением. Удаляемый нежелательный материал является практически непрерывной пленкой нежелательного материала, которой покрыт желательный материал. Облучение упомянутого нежелательного материала включает воздействие на предварительно определенную поверхность упомянутой практически непрерывной пленки энергетическими фотонами с пространственной и временной концентрациями в пределах предварительно определенной поверхности, достаточными для высвобождения соответствующего поверхности раздела участка пленки нежелательного материала с обрабатываемой поверхности и недостаточными для повышения температуры желательного материала выше температуры, при которой плавится желательный материал или физические свойства желательного материала изменяются другим образом. Облучение нежелательного материала применяют достаточное количество раз на предварительно определенной поверхности и поверхности раздела, пока упомянутая практически непрерывная пленка нежелательного материала не будет удалена без изменения физических свойств желательного материала. Предложенная группа изобретений также включает: способ выборочного удаления нежелательного материала с обрабатываемой поверхности подложки, способ создания структур на обрабатываемой поверхности подложки, способ выравнивания обрабатываемой поверхности подложки, способ уменьшения шероховатости обрабатываемой поверхности и способ уменьшения шероховатости обрабатываемой поверхности. Технический результат заключается в повышении эффективности удаления нежелательного материала с подложки, возможности удаления очень малых частиц без изменения физических свойств подложки, а также в исключении использования дорогих материалов и возможности удаления загрязнений без образования токсичных отходов. 5 с. и 15 з.п.ф-лы, 9 ил., 22 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента