|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕГАЗВУКОВОЙ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2243038 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B08B003/12 | | Аналоги изобретения: | RU 2173587 C2, 20.09.2001. RU 2136467 C1, 10.09.1999. EP 0350021 A3, B1, 10.01.1990. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии и оборудование" (RU) | | Изобретатели: | Комаров В.Н. (RU)
Комаров Р.В. (RU) | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Новые технологии и оборудование" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технике индивидуальной очистки изделий и может быть использовано при мегазвуковой очистке, например, полупроводниковых пластин и фотошаблонов. Способ заключается в том, что поверхность подложек сканируют струей озвученной моющей жидкости по радиусу поверхности ее от центра к периферии и обратно.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента