На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУХСТОРОННЕЙ ОЧИСТКИ ПЛАСТИН | |
Номер публикации патента: 2275972 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | B08B001/04 B08B003/12 | Аналоги изобретения: | US 4449885 A1, 22.05.1984. |
Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") (RU) | Изобретатели: | Комаров Валерий Николаевич (RU) Каргапольцев Виктор Павлович (RU) Комаров Николай Валерьевич (RU) | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано, например, на операциях двухсторонней очистки пластин с помощью щеток и мегазвука. Устройство содержит установленные на основании разгрузочную и загрузочную кассеты, два механизма шагового перемещения их, механизм вертикального перемещения пластин из разгрузочной кассеты, механизм вертикального перемещения пластин в загрузочную кассету, механизм горизонтального перемещения пластин, снабженный захватом, блок
|