US 6300641 B1, 09.10.2001. US 5783641 A, 21.07.1998. JP 61-171740 A, 02.08.1986. SU 453853 A, 20.05.1975. SU 1397480 A1, 23.05.1988. RU 2298054 C1, 27.04.2007.
Имя заявителя:
Вавилин Константин Викторович (RU), Кралькина Елена Александровна (RU), Павлов Владимир Борисович (RU), Ко Сеок Кеун (KR), Ли Чеол Су (KR)
Изобретатели:
Вавилин Константин Викторович (RU) Кралькина Елена Александровна (RU) Павлов Владимир Борисович (RU) Ко Сеок Кеун (KR) Ли Чеол Су (KR)
Патентообладатели:
Вавилин Константин Викторович (RU) Кралькина Елена Александровна (RU) Павлов Владимир Борисович (RU) Ко Сеок Кеун (KR) Ли Чеол Су (KR)
Реферат
Изобретение относится к технологии модификации поверхностных свойств материалов и к оборудованию, предназначенному для осуществления технологического процесса обработки, и может использоваться в различных производственных процессах, для которых требуется высокая гидрофильность и высокая адгезионная способность обрабатываемой поверхности. Задачей изобретения является увеличение скорости и эффективности процесса модификации поверхностных свойств обрабатываемых материалов за счет снижения величины краевого угла обработанной поверхности и повышения силы адгезии поверхности после облучения образца пучком ионов до заданной дозы облучения. Для этого в способе модификации поверхностных свойств материалов перед подачей вдоль обрабатываемой поверхности образца осуществляют диссоциацию потока газа или смеси химически активных газов до достижения степени диссоциации не менее 5%. В установке для модификации поверхностных свойств материалов система подачи потока химически активного газа или смеси химически активных газов вдоль обрабатываемой поверхности включает в свой состав устройство, обеспечивающее диссоциацию химически активного газа или смеси химически активных газов до достижения степени диссоциации не менее 5%. При использовании изобретения повышается производительность процесса модификации поверхностных свойств материалов, существенно улучшаются гидрофильные и адгезионные свойства обработанной поверхности изделий. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 1 табл., 10 ил.