На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДОСОДЕРЖАЩИХ, В ТОМ ЧИСЛЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ, ПОКРЫТИЙ

Номер публикации патента: 2142344

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  98110374		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий, покрытий, устойчивых к химическим воздействиям и воздействию окружающей среды. Технический результат изобретения направлен на повышение качества покрытия, заключающееся в уменьшении внутренних упругих напряжений и увеличении адгезии, что приводит к увеличению максимально достижимой толщины покрытия. Способ получения углеродосодержащих, в том числе алмазоподобных, покрытий, включает создание плазмы в вакуумной камере испарением жидкого углеводорода с подачей высокочастотного напряжения на подложкодержатель, при этом перед началом процесса камеру откачивают до давления не выше 2 · 10^-3 торр, подают на термокатод, анод и подложкодержатель напряжения, обеспечивающие стационарный процесс осаждения и нагрев керамического натекателя для подачи жидкого углеводорода до 300-900°С, подают в камеру аргон до возникновения устойчивого горения плазмы, выдерживают 3-25 мин, а затем изолируют подложки от потока плазмы, включают подачу жидкого углеводорода через керамический натекатель и не менее чем через 1 мин после этого прекращают подачу аргона и затем изоляцию подложек.

Вернуться к списку