|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА |  |
Номер публикации патента: 2028834 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B05D003/06 | | Аналоги изобретения: | Кулик П.П. и др. Динамическая плазменная обработка поверхности твердого тела. М.:Сборник АН СССР Плазмохимия-89, с.131. |
| Имя заявителя: | Инженерный центр "Плазмодинамика" при Московском институте электронной техники | | Изобретатели: | Зорина Е.Н.
Цветкова Ю.В.
Ескин Н.И.
Кононенко В.И.
Ярошенко Н.Г. | | Патентообладатели: | Инженерный центр "Плазмодинамика" при Московском институте электронной техники |
Реферат | |
Сущность изобретения: поверхность кварцевой подложки с нанесенным на ней оптическим зеркалом закрывают тонкой, толщиной в один интерференционный слой пленкой окиси кремния на площади, равной площади плоской стороны подложки с зеркалом, путем пересечения n раз подложки с зеркалом плазменного потока, содержащего кремнийорганическое вещество в парообразном состоянии, при скорости взаимного пересечения в интервале 2,5-3,0 м/с при n ≥ 1.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента