|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИ - П - КСИЛИЛЕНОВОГО ПОКРЫТИЯ |  |
Номер публикации патента: 2017548 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B05D003/10 | | Аналоги изобретения: | Патент ФРГ N 2737792, кл. B 05D 3/10, 1978. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "Салют" | | Изобретатели: | Кутьин А.П.
Зюзина В.И.
Янина Н.В.
Галина Т.М.
Воробьева С.В.
Муленкова И.Ф.
Обрегон-Саенс Л.А. | | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Салют" |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике при герметизации плит и интегральных схем. Сущность изобретения: для получения поли-п-ксиленового покрытия на керамической поверхности активируют керамическую поверхность, имплантируя в нее ионы массой 1 - 40 а.е., дозой 61013 - 11015 ион/см2 , ускоренные до энергий 50 - 150 кэВ с последующим газофазным нанесением методом пиролитической полимеризации циклоди-п-ксилилена.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента