|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2307713 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B05D001/02 | | Аналоги изобретения: | S.Safar, C.S.Ferekides and D.L.Model. Characterization and analysis of ZnO: Al deposition be reactive magnetron shuttering // J. Vac. Sci. TechnoL, A, 13(4), 1995, p.p.2177-2182. EP 0578046 A1, 12.01.1994. SU 1794619 A1, 15.02.1993. SU 992485 A, 10.01.1983. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Полема" (RU) | | Изобретатели: | Абдуев Аслан Хаджимуратович (RU)
Асваров Абил Шамсудинович (RU)
Ахмедов Ахмед Кадиевич (RU)
Камилов Ибрагимхан Камилович (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Полема" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначен для магнетронного, электронно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-, опто-, наноэлектронике. Способ нанесения оксидных пленок заключается в том, что материалы доставляются к поверхности роста в дозированном количестве.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента