На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
Устройство для формирования поли - п - ксилиленовых покрытий | |
Номер публикации патента: 2000851 | |
Имя заявителя: | Институт механики металлополимерных систем АН Белоруси | Изобретатели: | Красовский Анатолий Михайлович Толстопятов Евгений Максимович Гракович Петр Николаевич Гурышев Вячеслав Николаевич Меткин Николай Павлович Лапин Михаил Степанович | Патентообладатели: | Институт механики металлополимерных систем АН Белоруси |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к нанесению тонких полимерных покрытий, в частности к устройствам для формирования тонких поли-пксипипеновых покрытий в газовой фазе из циклоди-п-ксилилена (ЦДПК), и может быть использовано в микроэлектронике и биологии для снижения энергопотребления, уменьшения размеров и тепловой инерционности я для упрощения управления производительностью устройства и повышения равнотолщинности покрытия на поверхностях сложной конфигурации.
|