Инновационно-технический центр Общество с ограниченной ответственностью "СИТИС" (RU)
Изобретатели:
Тихонов Виктор Иванович (RU) Коробко Александр Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Инновационно-технический центр Общество с ограниченной ответственностью "СИТИС" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технологии нанесения порошкообразного диэлектрического сырья на подложки, размещенные в технологических объемах с любой контролируемой атмосферой под давлением от глубокого вакуума до выше атмосферного. Устройство включает неподвижный корпус с входным и выходным патрубками, расположенный в корпусе трибоэлектризующий диск с осевым отверстием и рабочими каналами для электризуемого сырья. Рабочие каналы сообщены с осевым отверстием, входным и выходным патрубками. На торцах диска установлены трибоэлектризующие пластины, в которых над каналами диска выполнены сквозные отверстия для удаления статического электричества, а на трибоэлектризующих пластинах установлены заземленные электропроводящие пластины. Диск на приводном валу установлен в корпусе с зазором с возможностью вращения. Каналы в диске выполнены радиальными с образованием плоских секторов. Внутренняя поверхность корпуса на уровне диска выполнена в виде трибоэлектризующего кольца, а в каждом секторе диска и в трибоэлектризующих пластинах соосно выполнены сквозные прорези, в которых беззазорно установлены электропроводящие вкладыши, контактирующие с электропроводящими пластинами. Отверстия для удаления статического электричества выполнены на всех трибоэлектризующих поверхностях, контактирующих с сырьем. При этом продолжение в зазор между внутренней поверхностью корпуса и диском одной из радиальных плоскостей секторов по всей ее высоте выполнено в виде криволинейной клинообразной лопатки. В корпусе, в месте сообщения с выходным патрубком, установлена заслонка с возможностью периодического сообщения каналов диска с выходным патрубком. Кроме того, вал диска и корпус заземлены через высоковольтный разрядник. Технический результат изобретения заключается в том, что при коэффициенте прилипания сырья к подложке, практически не отличимом от единицы, устройство исключает необходимость применения газа-носителя. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента