RU 2026414 C1, 03.01.1995. RU 2241269 C2, 27.11.2004. RU 2261289 C1, 27.09.2005. JP 64-031958 A, 02.02.1989. GB 1274876 A, 17.05.1972.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ГОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") (RU)
Изобретатели:
Метель Александр Сергеевич (RU) Григорьев Сергей Николаевич (RU) Мельник Юрий Андреевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ГОУ ВПО МГТУ "СТАНКИН") (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам нагрева изделий в плазме и может быть использовано, в частности, для нагрева изделий из различных, в том числе диэлектрических, материалов перед осаждением на них покрытий или при химико-термической обработке. Способ включает установку изделия внутри рабочей камеры, вакуумирование камеры, напуск в камеру рабочего газа, зажигание тлеющего разряда с получением газовой плазмы, заполнение рабочей камеры плазмой и нагрев изделия. При этом изделие устанавливают в центральной зоне камеры и изолируют от нее. Напуск рабочего газа осуществляют до давления в камере 1-10 Па, а тлеющий разряд зажигают между рабочей камерой и анодом с напряжением 300-600 В. После заполнения рабочей камеры плазмой снижают давление до 0,01-0,1 Па и для поддержания постоянной величины разрядного тока повышают напряжение до 1500-3000 В. Технический результат - сохранение исходного класса частоты обработки поверхности изделия при нагреве, повышение однородности нагрева. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента