RU 2007142538 A, 27.05.2009. RU 2235583 C1, 10.09.2004. RU 2349543 C1, 20.03.2009. RU 2342187 C1, 27.12.2008. SU 1560280 A1, 30.04.1990. SU 853591 A, 07.08.1981. US 2005175507 A1, 11.08.2005. FR 2677271 A1, 11.12.1992. GB 1197572 A, 08.07.1970. JP 2009127080 A, 11.06.2009.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" (RU)
Изобретатели:
Сучков Сергей Германович (RU) Запороцкова Ирина Владимировна (RU) Васильковский Сергей Владимирович (RU) Сучков Дмитрий Сергеевич (RU) Селифонов Антон Викторович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к области создания наноотверстий, пленок с нанопорами, нанонатекателей, наномембранных фильтров в виде пленок с наноразмерными отверстиями. Задачей изобретения является разработка способа изготовления механически прочной структуры с наноотверстиями заданных размеров (диаметра и длины), которые могут быть использованы для формирования подложек заданной пористости, для изготовления калиброванных нанонатекателей или наномембранных фильтрующих элементов с повышенной селективностью, устойчивостью к химическим реактивам и высоким температурам. Технический результат достигается тем, что в предлагаемом способе для получения наноразмерных отверстий используется «островковая» структура тонких металлических пленок, возникающая на начальных этапах процесса напыления, пока толщина пленки не превышает 2-15 нм, а формирование наноразмерных отверстий производится электрическим током пробоя, проходящим в толще слоистой
Поиск патентов
Получить полное описание патента