US 4859288 А, 22.08.1989. RU 2324015 C1, 10.05.2008. RU 2280498 C2, 27.07.2006. RU 2226425 C2, 10.04.2004. SU 1775146 A1, 15.11.1992.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) (RU)
Изобретатели:
Лесневский Леонид Николаевич (RU) Михеев Сергей Юрьевич (RU) Рыжов Юрий Алексеевич (RU) Тюрин Владимир Николаевич (RU) Черновский Михаил Николаевич (RU) Шкарбан Игорь Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области изготовления мембран с регулярными нанопорами, применяемых в медицине, фармацевтике, биотехнологии, атомной промышленности, аналитической химии для микро-нанофильтрации, для очистки жидкостей и газов, в энергетике в производстве топливных элементов и других областях. На одной стороне металлической фольги или тонкой металлической пленки из вентильного металла высокой чистоты формируют слой анодного оксида с гексагональной канализированной столбчатой структурой, далее проводят плазменное травление неанодированной стороны фольги или тонкой металлической пленки до удаления оставшегося металла и сплошного барьерного слоя оксида, закрывающих каналы, и образования в оксидной пленке сквозных наноотверстий. Изобретение обеспечивает сокращение времени технологического процесса. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.