SU 883083 A1, 23.11.1981. RU 2285748 C2, 20.10.2006. RU 2296180 C2, 27.03.2007. SU 1809777 A3, 15.04.1993. WO 2005039743 A2, 06.05.2005. JP 2002293522 A, 09.10.2002. US 6139713 A, 31.10.2000.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) (RU)
Изобретатели:
Михеев Сергей Юрьевич (RU) Рыжов Юрий Алексеевич (RU) Шкарбан Игорь Иванович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу изготовления наноразмерных металлических мембран. Сначала на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, напыляют слой металла - серебра или золота, поверх которого напыляют слой углерода, причем коэффициент распыления углерода ниже коэффициента распыления металла. Затем растворяют ацетатную подложку и производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий. После получения пленки с наноотверстиями на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой углерода толщиной 100-200 нм. Изобретение позволяет получать наноразмерные металлические мембраны, обладающие повышенной стойкостью к внешним воздействиям. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента